无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
GMP洁净车间工厂装修原则 1、统一原则。在布局设计与改进时，务必将各工序的人、机、料、法、环5因素有机化学融合并维持充足均衡，一旦沒有统一融洽好，作业非常容易扭曲，会增加停滞不前時间，提升原材料运送的频次。 2、zui短路线原则。在布局设计与改进时，务必要遵照挪动间距、挪动時间降到zui低。由于挪动间距越少，原材料运送所花销的花费和時间就会越小。 3、人1流、货运物流通畅原则。使工序沒有阻塞，货运物流畅行无阻。在工厂布局设计时要留意：尽量减少逆流和交叉式状况，不然会造成一系列出乎意料的不良影响，如质量难题、管理方法难度系数难题、生产率难题、安全隐患等。 4、安全性令人满意原则。在开展工厂布局设计与改进时，务必保证作业工作人员的作业既安全性又轻轻松松，由于只能那样才可以缓解作业疲劳值。请谨记：原材料的挪动、转动姿势等将会会造成安全生产事故，上升、卸掉货品姿势等也将会会造成安全生产事故。 5、机动灵活原则。在布局设计时，应尽量保证融入转变、灵活应变，如应对工序的调整、生产能力的调整能灵便相匹配。
无尘车间能够分成下列好多个级別：1级、百级、千级、万级、十万级、三十万级、百1万级。 每立方将低于0.5微米粒度的微尘总数操纵在3500个下列，就做到了国际性无尘规范的A1级。现阶段运用在射频收发器生产制造的无尘规范针对尘土的规定高过A1级，那样的高标准关键被运用在一些级别较高芯片生产上。微尘总数被严控在每立方1000个之内，这也就是业界别名级別中的万级。 无尘车间详细地址的挑选应合乎有益生产制造、便捷生活、节约项目投资和经营费用的标准。无尘车间与交通出行主干路间隔宜50米之上。
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